8月1日,淄博市生态环境局受理并公示山东重山光电材料股份有限公司高纯二氟化氙项目,具体项目情况如下:
项目名称:高纯二氟化氙项目;
建设单位:山东重山光电材料股份有限公司;
建设性质:新建;
建设地点:山东省淄博市淄川区电子产业园重山光电现有厂区内;
项目投资:总投资1500万元,其中环保投资60万元;
建设内容:项目依托现有闲置厂房,分两期建设,一期生产高纯二氟化氙1吨/年;二期建设规模2吨/年。
建设周期:一期计划开工时间2024年6月,计划投产时间2025年6月,二期计划开工时间2026年3月,计划投产时间2027年3月。
山东重山光电材料股份有限公司成立于2015年,主营业务包括光电信息材料、锂电池材料、特种功能氟碳材料(氟化石墨、氟化石墨烯系列材料)、石墨及石墨烯衍生材料、含氟系列电子材料、其它半导体制程材料、稳定同位素材料、环保技术及产品研发、生产及销售。
二氟化氙(XeF2)是非常良好的氟化试剂和电子蚀刻气体,其氟化性比较温和,又比较稳定,操作安全,而且反应物的产率高,是一种选择性很好的氟化试剂,在无机氟化物制备及有机合成中有广泛的应用;二氟化氙在电子工业中作为蚀刻气体,可用于各向同性蚀刻Si、Mo和Ge,是蚀刻牺牲层以“释放”MEMS器件内移 动组件的理想解决方案。是氟化工产业中的关键环节,符合重点监控点发展规划。