7月17日,九江市生态环境局发布公告,表示已对江西华特永修年产1936.2吨电子特气项目环境影响评价文件作出审批决定。据悉,该项目6月7日受理,具体情况如下:
项目名称:江西华特永修年产1936.2吨电子特气项目;
项目性质:改扩建;
建设单位:江西华特电子化学品有限公司;
建设地点:江西永修云山经济开发区星火工业园江西华特电子化学品 有限公司厂区内;
项目投资:17400万元,其中环保投资32万元;
建设内容:建设300吨/年C4F6装置1套、15吨/年乙硅烷装置1套、20 吨/年锗烷装置1套、1吨/年丙硅烷装置1套、0.2吨/年乙锗烷装置1套、600吨/年环氧乙烷装置1套以及1000吨/年三氟化氮装置1套。
产品方案:
江西华特电子化学品有限公司成立于2013年10月,是广东华特气体股份有限公司全资子公司,位于江西省省级化工园区永修云山经济开发区。公司主要生产电子工业用气体锗烷、硒化氢、高纯一氧化碳,纯化硫化氢、磷烷、四氟化硅、一氟甲烷、六氟乙烷、八氟丙烷、半导体材料、硅基前驱体等,充装及配制电子化学品和工业气体,配制标准气体、混合气体、混合溶剂,生产铝合金无缝气瓶、低温绝热气瓶(杜瓦罐)、低温液体贮罐、汽化器、天然气撬等气体设备及安装气体管道工程。
C4F6(六氟-1,3-丁二烯、全氟丁二烯)是一种新型的含氟绿色电子刻蚀气,具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点,可以实现近乎垂直的刻蚀加工,为制造小体积、大容量的3D NAND闪存提供了可能;同时六氟-1,3-丁二烯环境友好,GWP<1,大气寿命1.1天,是当前兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气之一。