9月11日,郴州市人民政府网站公示了中化蓝天电子材料(郴州)有限公司年产1000吨全氟烯烃项目。
公示显示,该项目总投资3.2亿元,位于郴州市宜章氟化学循环产业开发区,预计于2023年9月开始建设,于2024年12月建成。
项目整套生产装置的设计产能按以三氟氯乙烯为原料进行设计,主产品六氟丁二烯的设计产能为1000t/a,副产品31%盐酸、70%稀硫酸的设计产能分别为1900t/a、140t/a,中间产品为三氟乙烯、二溴三氟乙烷、三氟溴乙烯锌(25%)。为适应市场需求,本项目产品产量根据市场需求进行调整,中间产品可作为产品销售,同时也可作为原料直接往下游生产,即本项目根据市场需求柔性生产全氟烯烃、三氟乙烯、三氟溴乙烯锌(25%),但项目生产装置整体设计产能及原料三氟氯乙烯的消耗量不变。
项目主要产品六氟丁二烯应用于半导体的干法蚀刻工艺时,蚀刻精度较高,宽度可达0.13μm,而大多数蚀刻气体的线宽仅可达到0.18μm,是下一代理想的干法刻蚀气之一。此外,其在含氟染料,含氟聚合物,含氟润滑油,含氟橡胶等领域也有潜在应用前景。