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7月18日，蚌埠市自然资源和规划局公示了安徽汇氟新材料科技有限公司年产40吨三氟化氯和40吨氟氮混合气项目。
公示显示，该项目位于安徽省蚌埠市淮上经济开发区淝河北路北侧，总投资1亿人民币，分二期建设。其中，一期建设年产 20 吨电子级三氟化氯和 40 吨电子级氟氮混合气生产装置（线）各 1 套，计划 2024 年 2 月前投产；二期再建设年产 20 吨电子级三氟化氯（C1F3）生产装置（线）1 套，计划 2024 年 8 月前投产。
据了解，项目产品三氟化氯是迄今为止发现反应活性最强的化合物之一，主要用于半导体芯片领域化学气相沉积后工序 CVD 反应室内壁、炉管、部件的表面蚀刻清洗环节，也是制备高端含氟高能材料的关键基础材料，其衍生出来的新型氟金属基含能材料和氟氮氧基含能材料在某些特殊场景具有更大的拓展应用潜力。
