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据彭博社报道，台积电发言人高孟华表示，地震发生后，一些工作人员已被疏散，之后又恢复了工作。台积电表示，按照公司内部程序，南部厂区部分无尘室人员已进行疏散以确保安全，目前已经回线，工安系统等都正常，此次地震对其业务没有产生重大影响。
另外，联电则表示，新竹厂区少数机台启动自我保护机制重新开机，厂区内人员均安，依标准程序作业，其它无重大影响。
面板大厂群创也表示，群创台南厂区部分机台进行保护性自动停机，并进行系统检查中，部分厂区进行人员疏散，目前人员安全。
此外，台湾竹科、南科及台湾地区经济部辖管各工业园区均表示，无灾情回报，营运不受影响。
